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各類無油真空泵發(fā)展趨勢分析

2023/09/15

無油真空泵的市場發(fā)展速度可以用日新月異來形容,幾乎每時每刻都在根據(jù)用戶需求的變動而動態(tài)變化著。真空泵市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展、真空泵技術(shù)不斷革新以及真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大。


1、旋片式真空泵市場
隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價格又遠比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠,同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。水環(huán)真空泵作為新一代節(jié)能型產(chǎn)品,在市場上普遍受歡迎,水環(huán)式真空泵目前已經(jīng)得到廣泛的使用,如在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、得到廣泛的應(yīng)用,在市場上的需求量大。


2、滑閥式真空泵市場
國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。


3、羅茨真空泵市場
從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。目前,國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場,這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進泵的外觀質(zhì)量,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。
目前,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。


4、分子泵市場
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要,分子泵也廣泛應(yīng)用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域。


浙江盛源科技是一家專業(yè)從事研究制造無油真空泵系列、新能源電動真空泵、空氣壓縮機設(shè)備、醫(yī)療器材、永磁伺服電機、工業(yè)投資等多元化經(jīng)營的大型企業(yè),是國家高新技術(shù)企業(yè),浙江省級技術(shù)研究開發(fā)中心。

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